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等离子清洗机采用13.56MHz的等离射频电源。作为一种精密干法清洗设备，清洗主要应用于半导体、等离镀膜工艺、清洗PCB制程、等离元器件封装前、清洗COG前、等离真空电子、清洗连接器和继电器等行业的等离精密清洗，塑料、清洗橡胶、等离金属和陶瓷等表面的清洗活化以及生命科学实验等。

?等离腔体采用不锈钢材料,保证系统材料的稳定性；?采用15.56Mhz射频电源,清洗更彻底；?支持自动手动模式，方便客户灵活操作；?清洗智能自动模式：可以设置为2次清洗，2次进气,等离每次清洗时间,进气稳定时间都可以设定；?手动模式：手动模式下，系统可以启动定时功能，清洗时间到，系统自动停止工作；?气压稳定功能（选配）：根据需要可以配置输出比例阀控制气体的流速，均衡腔体内压力；?智能气路功能（选配）：根据需要，可以配置质量?流量计系统，可以设置不同的清洗段落配置不同气体的流速；?等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。